พื้นผิว SrTiO3
คำอธิบาย
ผลึกเดี่ยว SrTiO3 มีโครงสร้างขัดแตะที่ดีของวัสดุโครงสร้างเพอร์รอฟสไกต์เป็นวัสดุซับสเตรตที่ดีเยี่ยมสำหรับการเจริญเติบโตของเยื่อบุผิวของ HTS และฟิล์มออกไซด์ส่วนใหญ่มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในการวิจัยฟิล์มบางที่มีตัวนำยิ่งยวดอุณหภูมิสูงนอกจากนี้ยังใช้กันอย่างแพร่หลายในหน้าต่างแสงพิเศษและเป้าหมายสปัตเตอร์คุณภาพสูง
คุณสมบัติ
การวางแนว: (100) +/-0.5 องศา
การระบุการวางแนวขอบ: <001> +/-2 องศา มีให้เลือกเป็นตัวเลือกโดยมีค่าใช้จ่ายเพิ่มเติม
ขัดเงา: EPI ด้านหนึ่งขัดเงาด้วยเทคโนโลยี CMP โดยมีความเสียหายต่อตาข่ายใต้พื้นผิวน้อยกว่า
แพ็ค: บรรจุในถุงพลาสติกเกรด 100 ต่ำกว่าห้องสะอาดคลาส 1,000
โครงสร้างคริสตัล | ลูกบาศก์ a=3.905 A |
วิธีการเจริญเติบโต | เวอร์นูอิล |
ความหนาแน่น (ก./ซม3) | 5.175 |
จุดหลอมเหลว (℃) | 2080 |
ความแข็ง (โม) | 6 |
การขยายตัวทางความร้อน | 10.4 (x10-6/ ℃) |
ค่าคงที่ไดอิเล็กตริก | ~ 300 |
สูญเสียแทนเจนต์ที่ 10 GHz | ~5x10-4@ 300K , ~3x10-4@77K |
สีและรูปลักษณ์ | โปร่งใส (บางครั้งมีสีน้ำตาลเล็กน้อยขึ้นอยู่กับสภาวะการหลอม) ไม่มีฝาแฝด |
ความคงตัวทางเคมี | ไม่ละลายในน้ำ |
คำจำกัดความของพื้นผิว SrTiO3
สารตั้งต้น SrTiO3 หมายถึงสารตั้งต้นที่เป็นผลึกที่ทำจากสารประกอบสตรอนเซียมไททาเนต (SrTiO3)SrTiO3 เป็นวัสดุเพอร์รอฟสไกต์ที่มีโครงสร้างลูกบาศก์คริสตัล ซึ่งมีลักษณะพิเศษคือค่าคงที่ไดอิเล็กทริกสูง ความเสถียรทางความร้อนสูง และโครงตาข่ายที่เข้ากันได้ดีกับวัสดุอื่นๆ มากมาย
สารตั้งต้น SrTiO3 ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในด้านการสะสมของฟิล์มบางและการเจริญเติบโตของเยื่อบุผิวโครงสร้างลูกบาศก์ของ SrTiO3 ช่วยให้สามารถเจริญเติบโตของฟิล์มบางคุณภาพสูงโดยมีคุณภาพผลึกที่ดีเยี่ยมและมีความหนาแน่นของข้อบกพร่องต่ำซึ่งทำให้ซับสเตรต SrTiO3 เหมาะสมมากสำหรับการปลูกฟิล์มเอพิเทเชียลและโครงสร้างเฮเทอโรสำหรับการใช้งานที่หลากหลาย
ค่าคงที่ไดอิเล็กทริกของ SrTiO3 สูงทำให้เหมาะสำหรับการใช้งาน เช่น ตัวเก็บประจุ อุปกรณ์หน่วยความจำ และฟิล์มบางเฟอร์โรอิเล็กทริกความเสถียรทางความร้อนทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานที่อุณหภูมิสูง
นอกจากนี้ คุณสมบัติที่หลากหลายของ SrTiO3 เช่น สภาพการนำไฟฟ้าของโลหะที่อุณหภูมิต่ำและความเป็นไปได้ในการกระตุ้นสถานะตัวนำยิ่งยวด ทำให้มีประโยชน์สำหรับการวิจัยฟิสิกส์เรื่องควบแน่นและการพัฒนาอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์และออปโตอิเล็กทรอนิกส์
โดยสรุป สารตั้งต้น SrTiO3 เป็นสารตั้งต้นที่เป็นผลึกที่ทำจากสตรอนเซียมไททาเนต ซึ่งมักใช้ในการสะสมของฟิล์มบาง การเจริญเติบโตของเยื่อบุผิว และการใช้งานทางอิเล็กทรอนิกส์และออปโตอิเล็กทรอนิกส์ที่หลากหลาย เนื่องจากมีค่าคงที่ไดอิเล็กตริกสูง ความเสถียรทางความร้อน และคุณสมบัติการจับคู่แลตทิซที่ดี